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微細加工技術(shù)雜志發(fā)文分析
微細加工技術(shù)主要機構(gòu)發(fā)文分析
| 機構(gòu)名稱 | 發(fā)文量 | 主要研究主題 |
| 中國科學院 | 192 | 光刻；電子束曝光；曝光機；電子束曝光機；掩模 |
| 上海交通大學 | 129 | 微機電系統(tǒng)；電系統(tǒng)；機電系統(tǒng)；MEMS；刻蝕 |
| 清華大學 | 60 | 微細；光刻；微細加工；離子束；聚焦離子束 |
| 中國科學技術(shù)大學 | 47 | 刻蝕；離子束；離子束刻蝕；光刻；衍射 |
| 電子工業(yè)部 | 46 | 離子注入；注入機；離子注入機；半導體；電路 |
| 中國科學院微電子研究所 | 38 | 光刻；掩模；X射線光刻；電子束曝光；分辨率 |
| 中國科學院長春光學精密機械與... | 34 | 光柵；MEMS；刻蝕；光刻；傳感 |
| 山東大學 | 29 | 電子束；電子束曝光；曝光機；電子束光刻；電子束曝光機 |
| 山東工業(yè)大學 | 28 | 電子束曝光；曝光機；電子束曝光機；電子束；電路 |
| 華中理工大學 | 26 | 刻蝕；濺射；半導體；等離子體；離子束 |
《微細加工技術(shù)》雜志是由中國電子科技集團公司第48研究所主辦的雙月刊，審稿周期預計為3-6個月。該雜志的欄目設置豐富多樣，涵蓋綜述、電子束技術(shù)、離子束技術(shù)、光子束技術(shù)、薄膜技術(shù)、微機械加工技術(shù)、納米技術(shù)等。
該雜志為學者們提供了一個交流學術(shù)成果和經(jīng)驗的平臺，發(fā)表的文章具有較高的學術(shù)水平和實踐價值，為讀者提供更多的實踐案例和行業(yè)信息，得到了廣大讀者的廣泛關(guān)注和引用。
