《微細加工技術》雜志審稿周期為預計3-6個月。
以下是查詢雜志審稿周期的方法：
1、查看期刊官網：許多雜志會在其官方網站的 “作者須知”“投稿指南” 或 “常見問題” 等板塊中，明確給出大致的審稿周期。
2、參考作者投稿經驗分享：可以在一些相關的學術交流平臺上，搜索雜志的名稱，其中通常會提到從投稿到收到審稿意見的時間，從而了解其大致的審稿周期。
3、分析期刊過往發表文章：隨機選取該雜志最近幾期發表的文章，查看每篇文章的投稿日期、接收日期和發表日期，通過計算時間間隔，能對該雜志的審稿及發表速度有一個直觀的認識。
4、咨詢期刊編輯：如果在官網上未找到明確的審稿周期信息，也沒有找到合適的作者投稿經驗分享，可以直接通過期刊官網提供的聯系方式咨詢。
《微細加工技術》雜志創刊于1983年，是由信息產業部主管的學術理論期刊，該雜志為雙月刊，國內外公開發行，國內刊號為CN 43-1140/TN，國際刊號為ISSN 1003-8213，雜志社位于長沙市第96號信箱301分箱（長沙黑石鋪）。
該雜志的辦刊宗旨是反映電子改革與發展的最新成果，探索電子規律，為深化電子改革、繁榮電子科學服務。其內容突出理論性、學術性、實用性和探索性等特點，主要欄目包括綜述、電子束技術、離子束技術、光子束技術、薄膜技術、微機械加工技術、納米技術等。
《微細加工技術》雜志在全國影響力較大，創刊于1983年，創刊以來，辦刊質量和水平不斷提高，主要欄目設置有：綜述、電子束技術、離子束技術、光子束技術、薄膜技術、微機械加工技術等。
微細加工技術雜志發文分析
微細加工技術主要機構發文分析
| 機構名稱 | 發文量 | 主要研究主題 |
| 中國科學院 | 192 | 光刻；電子束曝光；曝光機；電子束曝光機；掩模 |
| 上海交通大學 | 129 | 微機電系統；電系統；機電系統；MEMS；刻蝕 |
| 清華大學 | 60 | 微細；光刻；微細加工；離子束；聚焦離子束 |
| 中國科學技術大學 | 47 | 刻蝕；離子束；離子束刻蝕；光刻；衍射 |
| 電子工業部 | 46 | 離子注入；注入機；離子注入機；半導體；電路 |
| 中國科學院微電子研究所 | 38 | 光刻；掩模；X射線光刻；電子束曝光；分辨率 |
| 中國科學院長春光學精密機械與... | 34 | 光柵；MEMS；刻蝕；光刻；傳感 |
| 山東大學 | 29 | 電子束；電子束曝光；曝光機；電子束光刻；電子束曝光機 |
| 山東工業大學 | 28 | 電子束曝光；曝光機；電子束曝光機；電子束；電路 |
| 華中理工大學 | 26 | 刻蝕；濺射；半導體；等離子體；離子束 |
微細加工技術主要資助項目分析
| 資助項目 | 涉及文獻 |
| 國家自然科學基金 | 256 |
| 國家高技術研究發展計劃 | 65 |
| 國家重點基礎研究發展計劃 | 54 |
| 國家教育部博士點基金 | 17 |
| 國家重點實驗室開放基金 | 15 |
| 山東省自然科學基金 | 13 |
| 中國科學院知識創新工程 | 11 |
| 中國博士后科學基金 | 10 |
| 上海市自然科學基金 | 8 |
| 中國科學院知識創新工程重要方向項目 | 8 |
