《真空科學與技術學報》雜志的收稿方向主要包括：綜述評述、研究快報、研究論文等。
該雜志收稿方向廣泛，涵蓋了工業的多個重要領域和前沿話題，為工業工作者和研究者提供了一個交流和分享學術成果的重要平臺。
《真空科學與技術學報》雜志投稿要求
（1）若論文課題為基金資助項目，請附基金名稱、課題名稱和編號。
（2）來稿通過電子郵件（WORD文檔附件）發送，來稿不退。
（3）稿件文責自負，務求原創作品，嚴禁剽竊、抄襲行為。
（4）正文要求主題明確、論點新穎、論據可靠、語言簡練、具可讀性。
（5）參考文獻：參考文獻以作者親自閱讀過的近5 年文獻為主，一般不少于15 條，文獻按順序編碼制著錄。
《真空科學與技術學報》雜志是由中國科學技術協會主管和中國真空學會主辦的學術理論期刊，創刊于1981年，國內外公開發行，國際刊號ISSN為1672-7126，國內刊號CN為11-5177/TB，該雜志級別為北大期刊、CSCD期刊、統計源期刊，預計審稿周期為1-3個月。
真空科學與技術學報雜志數據統計
真空科學與技術學報主要引證文獻期刊分析
該雜志在學術界具有較高的影響力，多次獲得國內外權威獎項，如中國優秀期刊遴選數據庫、中國期刊全文數據庫（CJFD）、中國學術期刊（光盤版）全文收錄期刊、中國科技期刊優秀期刊、北大圖書館收錄期刊等。
在收錄方面，《真空科學與技術學報》雜志被多個知名數據庫收錄，包括：北大期刊(中國人文社會科學期刊)、CSCD 中國科學引文數據庫來源期刊(含擴展版)、統計源期刊(中國科技論文優秀期刊)、知網收錄(中)、維普收錄(中)、萬方收錄(中)、CA 化學文摘(美)、JST 日本科學技術振興機構數據庫(日)、國家圖書館館藏、上海圖書館館藏等，在工業領域具有較高的學術價值和影響力，是工業研究者和實踐者的重要參考刊物。
真空科學與技術學報雜志發文分析
真空科學與技術學報主要機構發文分析
| 機構名稱 | 發文量 | 主要研究主題 |
| 中國科學院 | 163 | 濺射；磁控；光學；磁控濺射；納米 |
| 合肥工業大學 | 158 | 真空泵；真空；螺桿真空泵；納米；有限元 |
| 東北大學 | 140 | 濺射；抽氣；磁控；磁控濺射；真空泵 |
| 中國科學院電子學研究所 | 139 | 行波管；速調管；螺旋線；慢波；注波互作用 |
| 清華大學 | 118 | 濺射；磁控；磁控濺射；離子束；太陽能電池 |
| 大連理工大學 | 118 | 等離子體；濺射；合金；磁控；磁控濺射 |
| 西安交通大學 | 111 | 顯示器；等離子體顯示；等離子體顯示器；電子發射；磁控 |
| 昆明理工大學 | 107 | 真空蒸餾；真空；碳熱還原；熱還原；真空碳熱還原 |
| 浙江大學 | 106 | 磁控；磁控濺射；濺射；化學氣相；化學氣相沉積 |
| 蘭州空間技術物理研究所 | 99 | 推力；推力器；光學；航天；月球 |
