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微納電子技術雜志發文分析
微納電子技術主要機構發文分析
| 機構名稱 | 發文量 | 主要研究主題 |
| 中國科學院 | 309 | 納米；光刻；晶體管；MEMS；傳感 |
| 中北大學 | 239 | MEMS；微電子；微電子機械；微電子機械系統；傳感 |
| 中國電子科技集團第十三研究所 | 225 | 微電子；微電子機械；微電子機械系統；MEMS；激光 |
| 河北工業大學 | 183 | CMP；化學機械拋光；機械拋光；拋光液；去除速率 |
| 上海交通大學 | 147 | 納米；微電子；微電子機械；微電子機械系統；MEMS |
| 太原理工大學 | 113 | 納米；傳感；感器；傳感器；氣敏 |
| 中國科學院微電子研究所 | 111 | 光刻；納米；電子束光刻；金屬；感器 |
| 清華大學 | 74 | 感器；傳感；傳感器；自旋；納米 |
| 專用集成電路與系統國家重點實... | 60 | 隧穿；遷移率；共振隧穿；RTD；MEMS |
| 中國科學院大學 | 60 | 微電子；MEMS；微電子機械；微電子機械系統；納米 |
《微納電子技術》雜志是由中國電子科技集團公司第十三研究所主辦的月刊，審稿周期預計為1-3個月。該雜志的欄目設置豐富多樣，涵蓋技術論壇、材料與結構、MEMS與傳感器、加工、測量與設備等。
該雜志為學者們提供了一個交流學術成果和經驗的平臺，發表的文章具有較高的學術水平和實踐價值，為讀者提供更多的實踐案例和行業信息，得到了廣大讀者的廣泛關注和引用。
